Wafer Inspection and Sorter Machine
采用高性能双臂洁净机器人实现 8/12 吋晶圆分选，配置 Olympus 高倍显微镜及 CCD 视 觉系统实现晶圆正面及背面的缺陷检查。
设备特点
- 兼容 SEMI 标准 Foup/Open Cassette,采用旋转loadport 对应 SEMI Standard FOSB;
- 具备 RFID reader 和 bar-code reader 功能；
- 配置 Olympus 高倍显微镜及 CCD 视觉系统实；
- 现晶圆正面及背面的缺陷检查。
- 可视化操作，双显示屏界面，操作简便；
- 具有 MES 模块的软件系统可与 CIM 系统无缝链接；
技术参数
